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真空镀膜设备厂家为你介绍真空泵在真空镀膜机中有什么作用

来源:www.yzjzgq.com发表时间:2018-06-06

由于在进行真空镀膜的时候,薄膜材料要先蒸发成为原子或分子,然后以较大的自由程作直线运动,碰撞基片表面而凝结,形成一层薄膜。如果镀膜室里面残余的气态分子过多,那么就会和蒸发材料的原子或分子发生频繁的碰撞,影响蒸发材料的原子或分子到达基片,形成薄膜;另外,残余气态分子过多会使得薄膜的纯净度和牢固度下降,同时使得蒸发材料容易被氧化而产生杂质。
真空镀膜时应该分两步抽真空,供应双级真空滤油机第一部抽低真空,做高压电子轰击,然后抽高真空,蒸发镀膜材质(一般是铝)。抽真空可以洁净镀膜环境还可以降低镀膜材质的蒸发温度。
真空泵是真空镀膜机重要的组成部分,真空镀膜是在真空状态下进行的,而达到真空状态这一过程就由真空泵来完成。根据工艺的要求,真空镀膜机所需真空度不一样,真空泵的配置也不一样:有机械泵罗茨泵;机械泵扩散泵;机械泵罗茨泵扩散泵;机械泵罗茨泵分子泵等。 


  

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