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多功能真空镀膜设备是怎么构成的?

来源:www.yzjzgq.com发表时间:2018-09-27

多功能真空镀膜机是磁控溅射、多弧离子、蒸腾镀膜的混合性设备,是在多弧离子镀膜机的基础上装备圆柱靶或平面磁控靶,设备具有离子镀的高离化率、高堆积速度的特色,一起也具有磁控溅射低温、安稳的长处,合适镀各种复合膜。

多功能真空镀膜机--磁控、中频、多弧离子镀膜具体介绍:

①蒸腾与磁控溅射的混合设备:
  多功能,合适量产,适应性强。

②磁控溅射与多弧离子镀的混合运用:
  多弧能够进步炮击清洗质量,添加薄膜与基材结合力。与磁控溅射一起作业可镀制复合膜(高能离子源清洗活化,成膜速度快)。

③多对中频磁控溅射靶与柱弧离子镀的混合运用:
  中频靶更安稳(如Al),离化率高、堆积速率快、成膜均匀。
  中频反应溅射如镀制Si02、TiO2,一起镀多层不一样原料簿膜。

④射频、直流、中频、柱弧的混合运用:
  射频能够直接镀制绝缘保护膜如SiO2/Ag/SiO2

⑤圆柱弧、中频、多弧的混合运用:  
  柱弧确保高离化率的一起,削减大颗粒堆积的份额,到达有好的结合力又有较好表面光洁度的作用。


  

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