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电子束镀膜机加热原理及特点

来源:www.yzjzgq.com发表时间:2017-03-10

电子束镀膜机加热蒸发源是利用热阴极发射电子在电场作用下成为高能量密度的电子束直接轰击到镀料上。电子束的动能转化为热能,使镀料加热汽化,完成蒸发镀膜。

电子束加热蒸发的优点:
1、电子束加热比电阻加热具有更高的通量密度,可以蒸发高熔点材料,如W、Mo、Al2O3等,并可得到较高的蒸发速率;
2、被蒸发材料置于水冷铜坩埚内,可避免坩埚材料污染,可制备高纯薄膜;
3、电子束蒸发粒子动能大,有利于获得致密、结合力好的膜层。

电子束加热蒸发的缺点:
1、结构较复杂,设备价格较贵;
2、若蒸发源附近的蒸气密度高,电子束流和蒸气粒子之间会发生相互作用,电子的通量将散失和轨道偏移;同时引起蒸气和残余气体的激发和电离,会影响膜层质量。

电子束加热蒸发源形式
电子束蒸发源由电子枪和坩埚两部分组成,有时还附有一套供应物料的机械。在许多情况下还会将产生和控制电子束的装置以及坩埚设计成一个整体。电子束加热蒸发源有以下几种结构形式:
1、具有直线阴极和静电聚焦的蒸发器。
2、具有环状阴极和静电聚焦的蒸发器。
3、具有轴向枪和静电远聚焦的蒸发器。
4、具有轴向枪、磁聚焦和磁偏转90度的蒸发器。
5、具有横向枪和磁偏转90度的蒸发器。
6、具有环形阴极、静电聚焦和静电偏转的蒸发器。
7、E型电子枪蒸发器,e型电子束蒸发源所发射的电子轨迹与”e”字相似,故简称e型枪。目前这种形式的蒸发源在真空蒸镀膜工艺中应用最为广泛。 

  

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