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真空镀膜设备的使用步骤

来源:www.yzjzgq.com发表时间:2017-11-09

   一、电控柜的操作 
  1.开水泵、气源 
  2.开总电源 
  3.开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。 
  4.开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。 
  5.观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 
  二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 
  1.总电源 
  2.同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。 
  3.开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。 
  三、关机顺序 
  1.关高真空表头、关分子泵。 
  2.待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。 
  3.到50以下时,再关维持泵。

  

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